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      Alicat質量流量控制器選型指南

      更新時間:2023-07-27   點擊次數:1043次

      工作原理

      Alicat層流壓差式質量流量計與高可調比的電磁比例閥結合,再配合高效率的PID控制算法,組成氣體質量流量控制-反饋回路,實現氣體質量流量的監控,這就是Alicat MFC的工作原理。

      除了質量流量控制模式,Alicat MFC還可以切換到體積流量控制器模式,壓力(絕壓或表壓)控制模式,在對應的控制模式下可以實現不同參數變量的控制。

      主要特點

      Alicat 質量流量控制器具有以下特點:

      1.響應快:特殊的結構和工作原理,最快可達到100ms響應,響應時間與實際工況和PID參數設置有關,可通過調節PID值改變響應速度和流量穩定度。

      2.無需預熱:上電即可使用,無需提前預熱,節省了等待時間。

      3.多參數測量/控制:內置溫度、壓力傳感器,可同時顯示氣體壓力、溫度、質量流量、體積流量等多種參數,可選擇控制質量流量、體積流量或壓力。如果選配了累計流量功能,還可以控制批量氣體累計流量。

      4.背光液晶屏:具有單色或彩色液晶屏,帶屏幕背光燈,可以更直觀的查看實時數據,方便讀數和調試。

      5.支持上百種氣體:內置100多種氣體的校準數據,切換氣體模式后即可測量/控制不同氣體,無需換算或重新校準。

      6.通訊和操作模式:有多種數字通訊和模擬信號模式可供選擇,以便采集和記錄數據,也有面板按鍵可手動操作調試。

      7.精度:普通精度為±(0.8%讀數+0.2%量程);高精度為±(0.4%讀數+0.2%量程)。

      8.量程:量程范圍寬,可定制。常規流量計最小量程為0~0.5SCCM,最大量程為0~5000SLPM。量程比200:1。

      型號系列

      Alicat質量流量控制器產品有多種不同系列,以滿足不同客戶和應用的需求。

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      典型應用

      1. 氣體混合、稀釋,標準氣體發生器流量控制。常用型號:MC, MCR, MCS, Basis。

      2. 大氣采樣儀、分析儀器氣體流量控制。常用型號:MC,MCS,MCR。

      3. 燃燒控制,火焰溫度控制。常用型號:MC, MCR, MCRW, Basis。

      4. 氮化爐、多用爐內氣氛控制。常用型號:MCR,MCRS,LCS。

      5. 光伏制造,多晶硅爐氣氛控制。常用型號:MCH,MCR。

      6. 生物發酵罐氣氛控制。常用型號:MC,Basis。

      7. 新能源、燃料電池測試系統。氣體流量或壓力控制。常用型號:MC, MCR, PCR。

      8. 光纖制造。常用型號:MC。

      9. 泄漏檢測。常用型號:MC,MCW,MCD。

      10. 真空鍍膜。常用型號:MC,MCV。

      11. 高壓應用。常用型號:MCQ。


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      選型參數

      為了選擇適合你應用的質量流量控制器,我們需要確定以下參數。

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      如果您有應用或選型方面的疑問,歡迎聯系我們,我們誠摯的希望可以幫到您!





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